RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。
测量范围 5通道; ≥0.1μm; ≥0.15μm; ≥0.2μm; ≥0.3μm; ≥0.5μm
最多粒子数量 30000颗/ml（误差值低于5%）
光源 镭射二极管(波长:830nm,额定输出:200mW)
部分材料 人造石英,不锈钢，氟塑料
流量 测试流量100ml/分钟
测量范围 5通道; ≥0.1μm; ≥0.15μm; ≥0.2μm; ≥0.3μm; ≥0.5μm
最多粒子数量 30000颗/ml（误差值低于5%）
电源 100V~240V AC,40VA(包含电源供应器KZ-50)
尺寸.重量 135(H) X 280(W) X 150 (D) mm,大约:6.5kg