PMS的AirSentry II分子污染监测系列的离子迁移率光谱仪用于空气分子污染 (AMC)，可检测空气中氯化物、酸、胺和含氨物质的微小浓度或含量变化，并向用户发出警报。这些使用点传感器具有万亿分之一（ppt）的灵敏度，可提供快速响应、更高的检测选择性和可重复的性能。将Air Sentry II传感器与中央软件平台相结合，可以方便地进行数据采集和分析。AirSentry II系列机载分子污染传感器可提供连续的可操作数据，以便对污染源和污染事件做出有效反应。

性能优势

酸类和基底（胺类、氨以及氯化物）的高灵敏度检测

使用点、多点式、移动式监测应用的通用产品配置

体积小，可放在任何位置

以太网，RS-232, 4-20毫安输出

系统价值

连续监测关键点

耐久可靠的数据收集、控制、分析

长期数据稳定性

最低的每份测试成本

场景应用

在蚀刻技术位置里的实时腐蚀监测

在关键的光刻系统内的实时胺类以及氨的监测

化学过滤器有效率的资格确认

遍及洁净室以及生产工具里的污染源的追踪和去除

前端开口片盒圆晶片存储模块内的污染分析